提升良率

采用VICTREX PEEK制成的CMP固定环可减少故障停机时间，提高晶圆产能；与PPS环相比，耐磨性提高一倍，生产效率提升3%。

耐受高达260°C的高温和腐蚀性化学品，这样就可以减少晶圆冷却时间，加快制造过程，从而提高晶圆厂的生产效率。

颗粒产生率低，纯度高，使得晶圆脱气量和可萃取物减少，从而提高晶圆良率。

符合 FM4910 标准的威格斯PEEK材料可最大限度地减少颗粒和其他物质的释放，以免影响洁净室环境的洁净度

威格斯率先实现PEEK的商业化，凭借深厚的专业技术知识和应用经验，帮助客户提高良率和生产效率。