半導体用途の成功事例
ビクトレックスのポリマー・ソリューションは半導体製造工程においてパーティクル発生、揮発性汚染ガスを低減させることで生産性、信頼性の向上およびリスクの低減に寄与します。
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PPSより耐用期間を50%延長
VICTREX PEEK製のCMPリングは、PPSの約2倍の耐摩耗性によってダウンタイム短縮とスループット向上をもたらし、半導体製造工場の生産性を最大3%向上させた実績があります。
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プロセスの迅速化
連続使用温度260°C（500°F）および攻撃性の強い化学薬品下の製造工程でも使用可能 - これは半導体製造工程のウエハ冷却時間の短縮に応用でき、各プロセスの迅速化を可能にします。
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生産歩留まり向上
パーティクル発生、揮発性汚染ガス、汚染性イオン排出の低減により生産歩留まり向上に寄与。
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汚染管理
FM4910準拠のVICTREX™ PEEK材料は、クリーンルーム環境の清浄度を損なう可能性のある粒子やその他の物質の放出を最小限に抑えるように設計されています。
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PEEKポリマーのナンバーワン・エキスパート
ビクトレックスは世界で初めてPEEKの商品化に成功して以来、この分野における比類なき専門技術とノウハウをもとにお客様の生産性向上に貢献する数々のポリマー・ソリューションを提供して参りました。
